實驗室中所有人都動了起來,陳輝也沒有閑著,他已經在繼續觀察實驗數據了。
似乎對于實驗結果一點也不關心的樣子。
他并沒有關注機器學習模型的問題,剛才鄂老已經跟他簡單介紹過了,他們對缺陷樣本采用幾何變換和物理模擬的方式來平衡樣本分布。
使用遷移學習,將碳化硅缺陷檢測預訓練模型遷移至氧化鎵,采用元學習,讓模型從少量缺陷樣本中快速學習特征比如位錯的線缺陷方向,再結合主動學習,主動標記“難樣本”,引導工程師補充高價值數據等一系列手段。
已經取得了一些成效。
鄂維南院士是機器學習方面的專家,陳輝沒有過多插手,他相信這些問題很快就能被解決。
陳輝看向了另一個問題,在導模法生長中,熔體流動影響溫度梯度,溫度梯度又導致晶體應力,使得最后生成晶體缺陷密度過高,成為廢品。
而這個問題又涉及到溫度場、流場、應力場、電場的多物理場耦合,
如果僅考慮溫度場的FEA模型預測的晶界缺陷密度為10 cm,但實際因熔體對流擾動,缺陷密度達3×10 cm。
所以想要得到比較準確的數據,就需要協同求解。
其中溫度場涉及熱傳導方程,流場涉及納維斯托克斯方程,應力場涉及彈性力學方程,這些方程原本在各自的領域就已經足夠復雜,現在需要協同求解,無疑是難上加難。
當然,這里的求解跟數學上納維斯托克斯方程并不是同一個概念,在數學研究中,求解納維-斯托克斯方程的目的是為了探索方程本身的性質,如解的存在性、唯一性和光滑性。
這通常涉及到復雜的數學分析和證明,如使用巴拿赫不動點定理等高級數學工具。
但在應用中求解,納維-斯托克斯方程的主要目的是為了預測和模擬流體的運動行為,求的是近似數值解,滿足工程精度即可,不追求嚴格數學證明。
可以說跟陳輝正在研究的問題并沒有太大的聯系,但毫無疑問,若是陳輝能夠完成NS方程數學解的證明,將會對工程應用中的近似解求解產生巨大的好處,甚至帶來劃時代的顛覆。
收斂思緒,回到眼前的問題,陳輝在腦海中回顧整個實驗過程,NS方程描述流體的動量守恒,熱傳導方程描述能量輸運,彈性力學方程描述應力-應變關系,而在氧化鎵晶體圓生長過程中,三者強耦合,根本無法獨立求解。
熔體流動通過對流換熱引起溫度梯度,改變局部熱膨脹系數,誘發熱應力,產生從流場到溫度場的耦合。
溫度不均勻導致材料熱膨脹/收縮差異,晶圓生長中籽晶與熔體界面,產生熱應力,溫度場又影響到了應力場。
晶體生長過程中,固液界面附近的應力可能改變熔體粘度,位錯周圍的應力場影響擴散系數,甚至誘導流動擾動比如晶體旋轉時的離心力,應力場又會影響到流場。
這種“雙向強關聯”導致傳統單場求解器無法直接擴展,需處理非線性項的交叉耦合,NS方程中的粘性應力與應力場的粘性耦合。
氧化鎵熔體生長中,熱應力可能使熔體表面產生波動,進而改變熔體-氣體界面形狀,影響氣體保護效果,例如氧含量波動),形成“流場-溫度場-應力場-化學場”的多級耦合。
三者之間相互依存,想要準確的預測,只能同步求解三個方程,即三者每求解一步都需要進行數據交換,如此嵌套求解,或許才能提高最后預測值的精準度。
但三個方程原本就已經足夠復雜,如此嵌套之后,求解難度呈指數上升,并且在數據交換過程中,各場的數據同樣會變化,很難得到精確的預測值,這也是鄂老他們到現在都還沒能解決的原因。
這個問題完全可以通過松-緊偶爾協同求解,以此來降低求解難度,減少計算量和數據交換導致數據延遲,陳輝開始在草稿紙上進行推演。
所謂松耦合,是指各場獨立求解,通過低頻次的數據交換,比如每10步流場計算后更新一次溫度場,降低計算量,可以在耦合較弱的場景中使用,比如在穩態生長后期,流場、溫度場已趨于穩定的時候。
所謂緊耦合,采用“嵌套迭代”或“統一時間步長”,在每個全局時間步內多次迭代各場方程,直至殘差滿足精度要求,適用于強耦合場景,比如熔體流動劇烈、溫度梯度大的生長初期。
松-緊協同的方法在工程中很常用,鄂維南院士他們之所以到現在還沒解決,無非是沒能設計出場間數據傳遞接口,沒有找到高效的收斂判據。
恰巧,這些都是陳輝擅長的。
不過到此問題也并沒有完全解決,想要完成緊偶爾同步嵌套,還需要統一各場的時空尺度,可困難的是,不同物理場的特征時空尺度差異顯著。
熔體流動的特征時間尺度為毫秒級,在導模法中熔體流動速度約0.1 m/s,特征長度0.1 mm,時間尺度τ≈1ms。
熱擴散的特征時間尺度為秒級,在氧化鎵熱擴散率約10^6m2/s,特征長度1mm,時間尺度τ≈1s。
晶體生長的特征時間尺度為小時級,8英寸晶圓生長周期約2小時,但應力松弛的時間尺度可能短至分鐘級,比如位錯運動的時間尺度。
這種“時間尺度分離”導致傳統全局時間步長無法兼顧精度與效率,若取流場的時間步長(1ms),則溫度場和應力場需重復計算1000次/秒,計算量爆炸,若取應力場的時間步長(1分鐘),則流場的瞬態效應,流動啟動階段的非定常性會被忽略。
實驗室中大家的忙碌已經告一段落,接下來就是觀察實驗反應中各個步驟的參數,也是驗證陳輝模型準確度的時候了。
張星看著在總控臺上陷入長考的陳輝,一時間心情復雜,他們還是很佩服陳輝的,隨時隨地能夠進入深度學習的狀態,這是很多學者夢寐以求的天賦,他們也有些明白為什么陳輝能夠取得那么多矚目的成就。
可這個家伙只用十幾分鐘就搗鼓出一個模型,讓他們來驗證,總感覺有些兒戲。
哎!
陳輝輕嘆一聲,揉了揉有些發酸的脖頸。
“老師,要不,休息一會兒?”
蔻依有些擔心的問道,老師趴在總控臺上,這一趴就是兩個多小時,鐵人都扛不住吧。
陳輝擺擺手,他感覺已經有些靈感了,卻又感覺腦中一團漿糊,靈感并不明晰。
“蔻依?”
“留學生?”
“因材施教!”
忽然,看到蔻依的陳輝腦子里陡然冒出這幾個詞語,宛若暴雷劈中的枯木,只留下一段焦黑的枯枝,但在那枯枝下,有一縷嫩芽悄然生長。
既然各種物理場的時空尺度不一致,那為什么非要使用同樣的時間步長呢?
針對時間尺度分離問題,完全可以采用多時間步長策略,
將全局時間步長設為流場的特征時間Δtflow,在每個全局步內:
1.流場直接推進Δtflow;
2.溫度場以更小的時間步長(Δttemp=Δtflow/n,n=10100)推進,利用流場的結果作為邊界條件;
3.應力場以更小的時間步長(Δtstress=Δtflow/m,m=1001000)推進,僅在高應力梯度區域,比如固液界面進行精細計算,其余區域采用準靜態近似。
引入“局部時間步長”技術,僅在需要高精度的區域(如界面附近)使用小時間步長,其他區域使用大時間步長,平衡效率與精度!
這何嘗不是另一個維度上的因材施教呢?
想通關鍵問題,一切都豁然開朗,陳輝快速在草稿紙上推演起來。
“成了!”
“真的成了!”
忽然,實驗室中爆發出一陣驚喜的歡呼。
正在進行實驗驗證的楊馳張星等人激動得手舞足蹈,只有以此才能表達自己心中的激動之情。
通過DFT計算Ga和O的形成能,修正LSW模型的擴散系數公式后,使用陳輝給的模型,熔體生長速率預測誤差從25%降至5%!
剛才他們進行了十組實驗,每一組的誤差都在4%-7%之間。
張星都不敢相信自己的眼睛,總控臺上那個家伙只用了十幾分鐘時間,就做出了這種成果,那他們這兩個多月時間,在干什么?
這還是陳輝根據以往數據粗略算出來的模型,如果在產線部署在線傳感器,紅外熱像儀、氣相色譜儀等,實時采集溫度、氣體成分數據,再通過貝葉斯優化算法動態修正模型參數,這個誤差數據還會進一步縮小。
再看向陳輝時,張星的眼神已經變了。
這家伙簡直神了!
不僅是張星,那些才剛加入實驗室的研究員們都震撼莫名。
即便他們早已聽說過陳輝的種種事跡,知道陳輝在數學上有很深的造詣,是個天才。
但聽再多的故事,都不如故事發生在自己眼前帶來的沖擊大。
不要說他們,就連楊馳鄧婷等人,都是心潮澎湃,他們知道陳輝來了肯定能做出點什么,帶來些奇跡,但哪怕是他們,也沒有預料到,這個奇跡會來得這么快。
鄂維南也是長嘆一聲,看著旁邊這個稚嫩的面龐,人果然是不服老不行啊。
站在陳輝身后的蔻依早就已經雙眼閃爍星星,原本就已經神化的身影在她眼中變得更加高大了幾分,就算有人告訴她陳輝是耶穌降世,她都會相信。
只有陳輝并沒有太多的波動,這早就在他預料之中。
“搞定了!”
又花了近一個小時,陳輝才完成多尺度時空的降階與分層操作,整理出了一個能夠應用的模型。
這個模型的驗證就更復雜一些了,需要先將模型轉化成計算機模型,再進行驗證。
“太好了!”
鄂維南有些激動的看著陳輝遞給他的草稿紙。
他叫陳輝過來,原本就是想讓陳輝幫忙解決多場耦合的協同求解問題,只要能夠構建出一個達到精確度要求的預測模型,將會大幅度氧化鎵晶圓生長過程中各參數的控制難度,硬件精度不夠,軟件預測來彌補。
至于溶液擴散模型的修正,倒只能算是意外之喜了。
現在兩者加起來,只要陳輝的預測模型不要有太大偏差,氧化鎵的工業化將水到渠成。
但陳輝并沒有滿足,
他的化學熟練度也有接近3級的程度,雖然比起很多材料學教授還差不少,但他數學足夠好,加上早些時間泡實驗室的經驗,這讓他在解決這些材料學問題時,如有神助。
來到實驗室后,能夠輕松的識別出問題所在。
比如還有一個關鍵問題,在氧化鎵晶圓生長中,多物理場的界面,熔體-晶體界面、坩堝-熔體界面、氣體-熔體界面是耦合的關鍵區域,但界面特性難以精確描述。
自由表面熔體-氣體界面存在表面張力σ和波動,需通過VOF或Level Set方法追蹤界面,同時耦合NS方程的表面張力項((σκ)。
固液界面晶體-熔體界面,氧化鎵結晶時存在相變潛熱,需在熱傳導方程中加入潛熱項ρLtf,,同時界面處的應力連續性(σsolid=σliquid)需嚴格滿足。
實際工藝中,坩堝壁面的溫度分布,加熱器功率波動、氣體流量的脈動等隨機因素會引入邊界條件的不確定性,傳統確定性求解器難以捕捉其對多場耦合的影響。
鄂維南自然能看懂陳輝在做什么,眼神在實驗室掃視一圈,目光所及之處,大家的歡騰都平息了下來,一方面自然是鄂老強大的壓迫力,同時,他們也知道這個時候不能打擾陳輝。
但他們并沒有在旁邊干看著,鄂維南已經拿起陳輝旁邊的草稿紙,開始指揮大家輸入模型進行驗證了。
這一次,陳輝陷入了長考。
能夠找出問題,就已經解決了這個問題的一半了,但想要徹底解決這個問題,顯然也并沒有那么容易。
一直過了半個小時,他也沒有找到什么有用的思緒。
呼!
又過了十幾分鐘,陳輝長呼一口氣,他終于抬起頭來,揉了揉有些發脹的腦袋,決定暫時擱置這個問題,等到化學和數學等級再提升一些再說。
一個問題,如果你連頭緒都沒有,就說明這不是短時間能解決的,這個時候就需要暫時放下問題,不斷的學習,提升自己,直到水到渠成,問題也就迎刃而解了。
陳輝很有經驗。